第281章 滴胶

   第281章 滴胶
  民勤县，西南侧的高新技术产业园。

  春节期间还有很多人员留下来工作。

  其中海陆丰公司、民勤集团、长江存储和几家国产半导体设备企业组成的521实验室、522实验室、523实验室，不仅仅没有放假，反而在过年期间，陆陆续续增加了很多科研人员过来。

  这三个联合实验室目前有493名研究员，244名行政和后勤人员。

  521实验室的区域内。

  通过冷冻电镜和其他原子扫描设备的辅助，几个研究员终于将密集的镀银硅纳米管和一些实心的碳化硅管组合在一起。

  这些细微的镀银硅纳米管被实心碳化硅纳米管分割成为一个个特殊的图案，这些图案就是单层芯片结构中的一部分，也是不需要光刻的那一部分。

  本质上光刻工艺，就是通过极紫外光将一部分需要清除的光刻胶溶破坏掉，然后通过清洗，将被破坏的光刻胶去掉，最后采用蚀刻、沉积等工艺，将这些凹槽利用起来。

  当然，实际操作起来，这些工艺会非常复杂，需要反复进行光刻、蚀刻、沉积、擦洗几十次，甚至几百上千次都有可能。

  而此时这些研究员的目的，就是打算通过镀银硅纳米管，解决国内一直难以追赶西方的顶尖光刻机技术。

  “如何？”

  可以看到原子排列结构的显影设备，此时正在显示出一个非常庞大的结构画面，负责检查的研究员抬起头来：“组长，这一片滴胶印模已经检查完成，没有发现排列错误的结构。”

  组长叶瑾随即吩咐道：“那就送去切割吧！”

  “好。”另一个研究员接手了切割工作。

  线切工作室内，长度为20厘米的滴胶印模被一点点切割，分割成为非常精确的1厘米厚度。

  这些1厘米厚度的滴胶印模板，就是滴胶工艺的核心部件。

  叶瑾和其他几个小组长讨论着接下来的安排。

  “老刘，现在模板已经做好了，我们开始试验，你们硅片准备好了？”

  老刘是一个地中海中年人，他笑着回道：“早就准备好了，就等你们的模板。”

  “那就按照之前的安排，开始进行测试吧！希望一切顺利。”叶瑾此时心里面也是非常忐忑。

  “别紧张，船到桥头自然直。”老刘边说边拿起文件夹，看着上面的一些资料：“522那边的胶料已经准备好了？”

  说话的人，是来自于国内一家光刻胶企业的研究员：“那是自然，别小看我们，由于不需要考虑光刻处理，咱们只需要带电的胶材料，这种要求可比光刻胶低了几个量级。”

  当然，实际的研究中，这种胶材料并没有那么容易，但难度至少比光刻胶低很多，一番研究之后，522实验室就拿出了几款比较适合的滴胶材料。

  老刘看着资料，顿时心里面有一种豪情万丈的感觉：“中微半导体的蚀刻机调试好了，现在万事俱备了，我们开始吧！”

  “同意。”

  “也好，是骡子是马，总要拉出来试一试。”

  “我感觉成功率应该非常高。”

  “你小子倒是有信心，如果成功了，大家都要名垂青史了。”

  不一会。

  他们来到了负责测试的523实验室。

  随着滴胶印模板插入滴胶机中，滴胶室内的空气已经被抽空，替换成为不会和胶材料反应，也不会发生电离反应的高纯度惰性气体。

  同时除尘设备也持续运行着，保持这个滴胶室内的高度洁净，避免灰尘被电离吸引，从而影响滴胶机的性能。

  纯水清洗后的8寸硅片，经过干燥之后，被机器送入滴胶机之中。

  滴胶机的模板也是圆形，还有一个刚刚好的卡槽，可以刚好可以和硅片对准，保证硅片和模板被完全固定，避免滴胶模印过程中，出现细微的移动。

  一个研究员表情非常紧张，手掌心都在冒汗，他颤抖着手指，轻轻按在启动开关上。

  滴！
  通电之后的滴胶器，其滴胶模板将上面储存器的胶液吸入，通过电磁加速让带电胶液快速从上往下拉。

  刹那间，一滴滴细微的纳米级胶滴，从模板下方滴落在硅片表面，这些胶滴很快就形成一个个滴点，而这些滴点彼此之间融合在一起，形成一道道纹路。

  随即滴胶机断电，仅仅滴落一滴胶液，剩下的胶液被管道裹挟着，根本滴落不下去。

  滴胶机离开硅片上方，紧接着光固化设备向硅片表面发射出特定的紫外线，对胶滴图案进行光固化。

  叶瑾急不可耐地说道：“快，看看图案有没有问题。”

  老刘摇了摇头：“叶博士别急呀！多做几片，到时候一起送检。”

  “好吧！”

  不到半个小时，滴胶室内就连续生产了几十片滴胶硅片。

  负责测试滴胶图案的研究小组，也将一批批滴胶硅片送去实验室的检测。

  所有人都不由自主地沉默下来，他们都在等待结果。

  时间一分一秒过去了。

  大概过了两个小时。

  “呼呼…”一个研究员拿着一份报告跑过来。

  所有人顿时齐刷刷盯着他。

  “呼呼…好消息，滴胶图案没有出现缺陷，可以开始进行蚀刻、沉积等工艺的测试了。”

  顿时空气为之一静。

  紧接着便是震耳欲聋的呼呼声。

  “噢噢噢…”

  “我们成功了！”

  “万岁！”

  “哈哈哈，我就说成功率很高。”

  “太好了，我们做到了！”

  兴奋的呼呼声，几乎是震耳欲聋，大家都难以平静，在向周围的同事同行表达着内心的激动。

  啪啪啪…十几分钟之后，年纪比较大的老刘拍了拍手掌：“我们迈出了走向成功的第一步，现在不是放松的时候，接下来大家加把劲，争取完成全套工艺的革新。”

  “放心吧！老刘，我现在浑身上下都充满了力量，比喝了一百罐红牛还精神。”一个同样四十多岁的研究员红光满面说道。

  老刘连忙提醒道：“别别别，虽然工作非常重要，但是我可不想大家积劳成疾，毕竟大家也不想失去上台领奖的机会吧？”

  “知道，劳逸结合吗！不过每天干十个小时应该问题不大，我以前在台积电的时候，可是经常通宵达旦。”

  叶瑾此时也意气风发起来：“老刘说的对，大家庆功会上见！”

  “庆功会上见！”

  兴奋之后，所有人开始冷静下来。

  很快他们利用实验室的设备，开始重复滴胶、蚀刻、沉积、研磨、清洗、离子注入。

  第一批实验室生产的存储器芯片，在半个月后被生产出来。

  之所以这么快，主要是因为滴胶工艺取代光刻工艺之后，整体速度提升了非常多。

  而他们通过实验室生产的芯片，其设计模型来自于长江存储，因此只能生产存储器芯片。

  不仅仅是存储器的外围逻辑单元，连内部的存储单元，也都一并采用了同一个制程，即10纳米制程。

  此时长江存储的几个老总已经到了民勤县。      长江存储董事长陈南贤，副董事长杨士凝，董事刘休昆等人，看着眼前的存储器芯片，眼睛都快冒光了。

  哪怕是在半导体产业摸爬滚打了半辈子，杨士凝也不由自主地发出惊叹：“每平方米毫米100G的储存密度吗？恐怖如斯…”

  陈南贤也是满脸震惊：“是呀！相当于单位储存密度提升5倍左右，而且能耗下降了36%，读取速度提升了33%，成本下降了41%左右，这简直是划时代的产品。”

  “陈董，我觉得我们应该进入半导体代工行业了。”一旁的刘休昆提议道。

  “半导体代工？”陈南贤跟着点了点头：“确实，我们不能错过这个机会，滴胶工艺取代光刻工艺之后，整个芯片的生产成本下降30%到40%左右，而且这相当于我们直接掌握了10纳米制程，此时不进入半导体代工产业，简直是对不起之前的投资和布局。”

  杨士凝提醒道：“陈董，江院士那边怎么说？”

  闻言，陈南贤也知道这件事避不开江淼和海陆丰公司，他拿起电话打过去。

  嘟嘟…

  “喂，陈董，有什么事情？”

  “江院士，我们合作的那个项目初步获得了成功，我想问一下海陆丰公司下一步有什么打算？”

  电话对面的江淼，自然已经收到了相关的消息，不过他并没有进入半导体产业的想法，因此便开口回道：
  “陈董是想进入半导体的其他产业？”

  “正是，不知道江院士有没有兴趣投资？”

  “可以，海陆丰公司就投资200亿吧！我们就做财务投资，股票占比到时候根据各方出资比例算就可以。”

  “没问题。”陈南贤心里面清楚得很，如果海陆丰公司愿意，拿出上千亿流动资金都没有问题，不过看样子，江淼似乎并不打算控股这个半导体代工企业，真只是单纯的财务投资。

  毕竟对半导体产业而言，200亿勉勉强强只能建一个小晶圆厂而已。

  而这一次技术突破的消息，虽然外界没有收到消息，但官方肯定已经知道了。

  因此投资占比的大头，肯定是国家半导体产业基金和国资投资公司，另外长江存储作为运行管理方，也肯定会拿到一部分股份。

  他估计海陆丰公司这200亿，只能占10%左右的股份。

  当然，这并不代表海陆丰公司就亏了，因为民勤精密仪器公司51%的股份是海陆丰公司的。

  这个精密仪器公司剩下的49%股份中，长江半导体只拿到了7%的股份，凉州国资投资公司10%、中微半导体8%、其他几个出人出力的合作企业拿到了24%的股份。

  未来国内的半导体产业链之中，替代光刻工艺的滴胶工艺，这个工艺的生态位就由民勤精密仪器公司主导。

  聊了一会，陈南贤才挂了电话。

  “江院士说了，他们作为设备供应商就可以，然后打算投资我们的半导体代工公司200亿，作为单纯的财务投资，并不打算进入半导体生产。”

  杨士凝暗中松了一口气，幸好海陆丰公司没有想法，要不然就麻烦了，毕竟海陆丰公司在国内的地位太特殊了
  特别是他们长江存储这种国营企业，肯定不想得罪海陆丰公司背后的江淼。

  刘休昆眯着眼说道：“陈董，我认为我们不要马上公布技术突破。”

  而陈南贤也随即明白了他的想法：“你是想将一部分设备凑齐之后，才发动猛烈进攻？”

  “嗯，现在外界并不知道我们已经成功了，我认为没有必要马上公布，毕竟现在公布了，一点好处都没有，反而会让西方势力反应过来，他们肯定会狗急跳墙，加大对其他设备的禁购力度。”

  杨士凝点了点头：“我同意休昆的看法，现在我们已经拿到了赛点，更应该冷静下来，而不是提前揭开底牌。”

  思考片刻，陈南贤也觉得不能意气用事：“好，我待会再和海陆丰公司沟通一下，他们应该会配合我们。”

  “还有一件事，我认为现在应该联系海思那边。”刘休昆意有所指。

  “海思？”陈南贤随即点了点头：“可以，暗中联系他们，不过不要告诉他们关键信息，要求他们派核心管理层过来，再谈双方的合作。”

  之所以要邀请海思半导体，原因就是长江存储并没有其他逻辑芯片的设计能力。

  而滴胶工艺的出现，瞬间将长江存储的芯片加工制程拔高到了10纳米级别。

  这个级别的芯片制程，已经是国际先进水平了，至于什么7纳米、5纳米造程，其实并不是真正的7纳米、5纳米，而是叫等效7纳米、等效5纳米。

  也就是说，长江存储如果继续研究，他们一样可以通过差不多的技术手段，实现所谓的等效7纳米、等效5纳米。

  现在摆在长江存储面前的问题，反倒是要找到合适的客户。

  如果没有合适的客户，有庞大的芯片产能又如何，一样会亏钱。

  现阶段国内的企业之中，很多手机、电脑企业都是靠不住的，原因很简单，这些企业需要顾虑国际市场，以及阿美丽卡的态度。

  毕竟这些企业使用了西方企业的软件系统、芯片和技术，就很难避开西方资本的影响。

  唯一不需要考虑这个问题的企业，就是花粉公司了，毕竟他们已经上了阿美丽卡的黑名单。

  其他企业反而没有破釜沉舟的决心。

  因此长江存储有芯片产能，同时也需要一个稳定的客户；而花粉公司有先进的芯片设计能力，同时需要先进工艺的芯片代工企业。

  两者的生态位可以高度互补。

  如果没有客户，那长江存储只能硬着头皮学习英特尔，自己搞芯片设计、芯片加工。

  至于国营企业需要的芯片，这个市场中的绝大部分，其实是不需要使用到10纳米制程的芯片。

  比如电网需要的芯片、汽车需要的芯片，很多20多纳米到40多纳米级别的产品，基本已经够用了。

  10纳米级别的芯片，一般是使用在电脑、手机、服务器上面的。

  这其实就是工业级芯片和消费级芯片的差异。

  消费级的芯片，要求性能、功耗，加上高附加值，自然用得起10纳米级别的芯片。

  可是工业级的芯片，往往是不需要这么好的芯片，比如汽车芯片，如果觉得算力不够用，可以直接叠加多几颗芯片，反正汽车空间够大、还有车载散热器。

  毕竟先进制程的芯片，成本也非常高。

  不过长江存储也可以考虑采用低价促销的方式，用先进制程的芯片替代那些低级芯片，反正改用滴胶工艺之后，整个芯片的生产成本会下降30%到40%，完全可以用高性能，低成本的优势，直接将这个中低端市场吃下去。

  反正国内每年要进口一大堆中低端的工业芯片。

  不过长江存储要抢夺中低端芯片的市场，确实也非常麻烦，原因就是从始至终，长江存储就不是一个专业的逻辑芯片设计企业，没有太强的逻辑芯片设计能力，就意味着他们要从零开始。

  这可比干代工难很多。

  而且很多专业芯片，可不仅仅是招聘几百个工程师就可以设计出来的，比如那些汽车芯片，为什么欧洲还有芯片企业，就是因为他们还有不错的专业芯片设计能力。

  例如意法半导体、英飞凌等，这些就是专业芯片的佼佼者。

  如果没有必要，长江存储还是打算替代台积电的生态位，而不是成为类似于英特尔的全体系半导体企业。

  同时中低端芯片方面，国内的中芯国际等企业已经有不错的实力，长江存储没有必要将精力集中在中低端芯片上，而是要集中精力向先进制程推进。

  毕竟从工艺角度上来讲，在研发等效7纳米、等效5纳米的芯片过程中，滴胶工艺比光刻工艺更容易实现。

  因为光会衍射，需要非常多的精密镜头，控制精度要求非常高。

  滴胶工艺则不一样，这东西的难度在于如何制造无缺陷的滴胶印模板，只要模板制造出来，那后面的工艺就非常简单。

  同时滴胶工艺的胶材料不像光刻胶那样苛刻，甚至可以通过不同的胶材料，实现一些特殊的设计。

  陈南贤等人也不得不感叹，材料才是现代技术的基石。

  他们三人并没有都离开民勤，而是留下一个人在这边协调工作，其他两个人则赶回去长江存储的总部。

  一边偷偷调兵遣将，这边布局半导体代工行业。

  另一方面，则和很多半导体加工设备供应商谈合作，既要求国产设备供应商加快技术攻关，也加钱让国外的设备供应商尽快发货。

  (本章完)